常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L、钛合金腔体；
系统采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；
系统内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；
系统漏率≤1X10-12Pam3/s，靶室工作真空度10-8Pa或10-9Pa;

类型：开循环液氮恒温器，开循环液氦恒温器，闭循环液氦恒温器；
常规材质：铝合金，可定制、不锈钢304不锈钢316、316L腔体；
可以实现温度4.2K至300K温度控制调节；
系统采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；
系统内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；
系统漏率≤1X10-12Pam3/s，靶室工作真空度10-5Pa或10-6Pa;

常规材质：不锈钢304+航空铝；
法兰端面接口为国际标准通用接口，也可定制，系统顶部为钟罩式可以提升打开；
系统采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；
系统内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；
合理的低温流体管道设计；铝合金冷屏工艺为实验系统最终上天提供了真实的模拟条件；
加热系统采用薄膜加热屏，可以对内屏进行分区均匀加热，最大限度模拟日照条件
漏率≤1X10-11Pam3/s，工作真空度10-4Pa或10-5Pa;

常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体；
系统在获得高真空的同时，可以通入＞DC100KV的高压；
系统侧面设有多个快开门，快开门可以旋转180°，可以极大的提高实验的便捷性；
系统采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；
系统内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；
系统漏率≤1X10-11Pam3/s，靶室工作真空度10-4Pa或10-5Pa;

常规材质：不锈钢316EP级管道；
所有零件配置均为EP级；
系统设有原理图，方便实验者对系统进行操作维护；
系统漏率≤1X10-12Pam3/s，工作真空度10-5Pa或10-6Pa;

常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体；
排气工位可以定制，常规有4、6、8工位可选；
系统采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；
系统内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；
系统漏率≤1X10-12Pam3/s，工作真空度10-7Pa或10-8Pa;

EUV高真空测试系统主要用EUV光源的研究与应用，为EUV光源的产生测试提供实验环境。

靶室常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体；
靶室顶部采样圆弧形设计，设有自动提升装置，通过提升装置可自动提升上部靶室的门，且上部靶室的门可以旋转180°，可以极大的提高实验的便捷性；
靶室采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；
靶室内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；
靶室漏率≤1X10-11Pam3/s，靶室工作真空度10-4Pa或10-5Pa;
靶室内部设有光学面包板（M6*25±0.05），面包板平面度优于±0.05mm/m，面包板设有减震独立支撑，面包板装配平行度优于±0.05mm（此项并非标配，为可选项）；

此类高真空靶室作为激光等离子体相互作用的研究的主要真空设备，相关学者使用润理真空定制的高真空光学靶室顺利完成了一系列科学实验，其中最引人注目的是利用超强超短激光与金属丝相互作用在产生高能电子束的同时，巧妙地利用电荷分离效应构建了微型、瞬态的电子波荡器，并基于该全新波荡器方案获得了非线性放大的强THz辐射输出。