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EUV高真空测试系统

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常规材质:不锈钢304,可定制不锈钢316、316L腔体;

系统侧面设有多个快开门,快开门可以旋转180°,可以极大的提高实验的便捷性

系统采用西门子PLC+触摸屏控制,也可选西门子PLC+PC控制

系统内外彻底洁净清洗整个真空系统完全无油

系统漏率≤1X10-11Pam3/s靶室工作真空度10-4Pa10-5Pa;

供货周期:确认方案后12


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