|
自动提升圆形真空靶室
靶室常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体； 靶室顶部采样圆弧形设计，设有自动提升装置，通过提升装置可自动提升上部靶室的门，且上部靶室的门可以旋转180°，可以极大的提高实验的便捷性； 靶室采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制； 靶室内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油； 靶室漏率≤1X10-11Pam3/s，靶室工作真空度10-4Pa或10-5Pa; 靶室内部设有光学面包板（M6*25±0.05），面包板平面度优于±0.05mm/m，面包板设有减震独立支撑，面包板装配平行度优于±0.05mm（此项并非标配，为可选项）； 供货周期：确认方案后12周。 上一篇EUV高真空测试系统下一篇方形低震动高真空靶室 |
