方形低震动高真空靶室

此类高真空靶室作为激光等离子体相互作用的研究的主要真空设备，相关学者使用润理真空定制的高真空光学靶室顺利完成了一系列科学实验，其中最引人注目的是利用超强超短激光与金属丝相互作用在产生高能电子束的同时，巧妙地利用电荷分离效应构建了微型、瞬态的电子波荡器，并基于该全新波荡器方案获得了非线性放大的强THz辐射输出。

1.1 靶室常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体；

1.2 靶室法兰端面接口为国际标准通用接口，也可定制，靶室侧面设有真空专用快速进样门；

1.3 靶室采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；

1.4 靶室内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；

1.5 靶室漏率≤1X10-11Pam3/s，靶室工作真空度10-4Pa或10-5Pa;

1.6 靶室内部设有光学面包板（M6*25±0.05），面包板平面度优于±0.05mm/m，面包板设有减震独立支撑，面包板装配平行度优于±0.05mm（此项并非标配，为可选项）；

供货周期：确认方案后12周。

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