超高真空排气台

除气系统：采用一体加热罩实现在线烘烤，有效覆盖需要除气烘烤的管道或腔室。加热温度最高为400℃，加热罩外侧设有保温层可以有效保证设备使用安全，控温可以实现全自动控制；
真空系统：根据实验所需真空度，设有不同的泵组搭配以及不同的法兰接口类型。常规产品排气真空度为10-8Pa，极高真空排气可达10-9Pa；
辅助功能：真空腔室可根据需求设有快速进样门，减震装置，三维移动，旋转引入等；
对中性能：设有单工位，双工位，多工位等不同配置可供用户选择。

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