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方形杜瓦

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1. 外侧真空腔体常规材质:6061铝合金,可定制7075或其他材质;
2. 腔体密封件材质采用氟橡胶;
3. 法兰接口、腔体大小根据客户需求定制;
4. 腔室内外彻底超声波清洗,表面清洁;
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合适的真空系统,真空度可进入10-7Pa;
7. 腔室内部辐射屏采用高纯无氧铜,表面镜面抛光后镀镍处理,或根据客户需要进行镀金处理;
8. 供货周期:确认方案后7到8周;

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