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一维移动机构

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1. 波纹管材质:不锈钢316或316L,连接法兰材质:304;
2.  Y方向行程100mm,可根据需求定制;
3. 耐烘烤温度200℃,适合超高真空使用;
4. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
5. 配合适的真空系统,真空度可进入10-8Pa;
6. 供货周期:确认方案后5到6周;

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