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EUV高真空测试系统

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主要用于EUV光源的开发与应用,为EUV光源的测试提供实验环境,具有如下特点:
设有多个快速进样门,使得腔室打开更加灵活;
真空腔室有多角度视窗接口,使得光路探测更加方便;
表面磨砂处理,确保实验安全。

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