此类高真空靶室作为激光等离子体相互作用的研究的主要真空设备，相关学者使用润理真空定制的高真空光学靶室顺利完成了一系列科学实验，其中最引人注目的是利用超强超短激光与金属丝相互作用在产生高能电子束的同时，巧妙地利用电荷分离效应构建了微型、瞬态的电子波荡器，并基于该全新波荡器方案获得了非线性放大的强THz辐射输出。

靶室常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体；

靶室顶部采样圆弧形设计，设有自动提升装置，通过提升装置可自动提升上部靶室的门，且上部靶室的门可以旋转180°，可以极大的提高实验的便捷性；

靶室采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；

 靶室内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；

靶室漏率≤1X10-11Pam3/s，靶室工作真空度10-4Pa或10-5Pa;

 靶室内部设有光学面包板（M6*25±0.05），面包板平面度优于±0.05mm/m，面包板设有减震独立支撑，面包板装配平行度优于±0.05mm（此项并非标配，为可选项）；

主要用于EUV光源的开发与应用，为EUV光源的测试提供实验环境，具有如下特点：

设有多个快速进样门，使得腔室打开更加灵活；

真空腔室有多角度视窗接口，使得光路探测更加方便；

表面磨砂处理，确保实验安全。

此超快激光高真空实验系统主要是将其应用于气相、固相材料中的光学改性（光电离、光激发、光诱导相变）的机理和过程研究，及光场时间结构的高速成像等科学研究。

超高真空系统采用分子泵系统，真空度可以进入 10-8mbar量级

除气系统：采用一体加热罩实现在线烘烤，有效覆盖需要除气烘烤的管道或腔室。加热温度最高为400℃，加热罩外侧设有保温层可以有效保证设备使用安全，控温可以实现全自动控制；

真空系统：根据实验所需真空度，设有不同的泵组搭配以及不同的法兰接口类型。常规产品排气真空度为10-8Pa，极高真空排气可达10-9Pa；

辅助功能：真空腔室可根据需求设有快速进样门，减震装置，三维移动，旋转引入等；

对中性能：设有单工位，双工位，多工位等不同配置可供用户选择。

常规材质：不锈钢304+航空铝；

法兰端面接口为国际标准通用接口，也可定制，系统顶部为钟罩式可以提升打开；

系统采用西门子PLC+触摸屏控制，也可选西门子PLC+PC控制；

系统内外彻底洁净清洗，整个真空系统完全无油；

合理的低温流体管道设计；铝合金冷屏工艺为实验系统最终上天提供了真实的模拟条件；

加热系统采用薄膜加热屏，可以对内屏进行分区均匀加热，最大限度模拟日照条件

漏率≤1X10-11Pam3/s，工作真空度10-4Pa或10-5Pa;